PRIDE-100型電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀又稱為ICP光譜儀（ Inductive Coupled Plasma ）即以電感耦合高頻等離子體為激發(fā)光源，利用每種元素的原子或離子發(fā)射特征光譜來(lái)判斷物質(zhì)的組成，而進(jìn)行元素的定性與定量分析儀器。也被稱為ICP原子發(fā)射光譜儀。原子發(fā)射光譜分析過(guò)程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測(cè)。

第一步：激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子也可能進(jìn)一步電離成離子狀態(tài)。原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光；

第二步：利用分光器把光源發(fā)射的光色散為按波長(zhǎng)排列的光譜；

第三步：利用光電器件檢測(cè)光譜，按所測(cè)得的光譜波長(zhǎng)對(duì)試樣進(jìn)行定性分析，或按發(fā)射光強(qiáng)度進(jìn)行定量分析。

PRIDE-100型電感耦合等離子體光譜儀技術(shù)性能指標(biāo)說(shuō)明

1. 射頻發(fā)生器（RF）：

電路類型	他激式固態(tài)射頻發(fā)生器，由兩只金屬氧化物場(chǎng)效應(yīng)管MOSFET管組成的推挽放大電路，全自動(dòng)點(diǎn)火，全自動(dòng)匹配調(diào)諧，計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控，全自動(dòng)化自動(dòng)控制。	工作頻率	27.12MHz±0.05%
		頻率穩(wěn)定性	<0.01%
		輸出功率	800－1500w
		輸出功率穩(wěn)定性	≤0.1%
		電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度	距機(jī)身30cm
		電場(chǎng)強(qiáng)度E	<1V/m
		磁場(chǎng)強(qiáng)度H	<0.2A

2、進(jìn)樣系統(tǒng):

輸出工作線圈內(nèi)徑	25mm，3匝	炬管	三重同心石英炬管
同軸型噴霧器外徑	6mm	雙筒形霧室外徑	35mm
氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格	等離子氣流量計(jì)（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)
	輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)
	載氣流量計(jì)（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)
	載氣穩(wěn)壓閥（0-0.6M Pa）

3、測(cè)光系統(tǒng):

光電倍增管規(guī)格

R212UH

信號(hào)采集為V/F交換

1mV對(duì)應(yīng)100Hz

光電倍增管負(fù)高壓

200-1000V

穩(wěn)定性<0.05%

光電倍增管電流測(cè)量范圍

10-12 -10-4A

4、分光系統(tǒng):

光路	Czerny- Turner	焦距	1000mm
光柵規(guī)格	離子刻蝕全息光柵	刻線密度	2400線/mm 3600線/mm 4320線/mm
分辨率	≤0.008nm	刻線面積	80×110mm
波長(zhǎng)示值誤差	≤±0.03nm	波長(zhǎng)范圍	190-800 nm
透鏡	ф30，1：1成像	入射狹縫	20µm
發(fā)射鏡規(guī)格	（78× 105 × 16）mm	出射狹縫	20µm
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)最小步距		0.0005nm